乙硼烷混氬氣
| 乙硼烷混氬氣 B2H6/Ar Mixture | |
| 組分 Components | 含量 Content |
| 乙硼烷 B2H6, 5N | ≥0.1% |
| 氬 Ar，6N | Balance （平衡氣） |
| 組分 Components |
規(guī)格 Specification
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| 乙硼烷 Diborane（B2H6）5N | 99.999% |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤2 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤2 ppmv |
| 甲烷 Methane (CH4) | ≤4 ppmv |
| 氫 Hydrogen (H2) | ≤100 ppmv |
| 三氟化硼 Boron trifluoride（BF3） | ≤ 50 ppmv |
| 丁硼烷 Teraborane(B4H10) | ≤180 ppmv |
| 戊硼烷 Pentaborane(B5H9） | ≤10 ppmv |
| 戊硼烷 Pentaborane（B5H11） | ≤10 ppmv |
| 氬 Argon（Ar）6N | 99.9999% |
| 氮 Nitrogen (N2) | ≤0.5 ppmv |
| 水 Water(H20) | ≤0.5 ppmv |
| 氧 Oxygen (O2) | ≤0.5 ppmv |
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總碳氫化合物如甲烷 Total Hydrocarbons as Methane (CH4)
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≤0.1 ppmv |
| 一氧化碳 Carbon Monoxide （CO） | ≤0.1 ppmv |
| 二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) | ≤0.1 ppmv |
| 包裝規(guī)格 | |
| 氣瓶大小 Cylinder Size | 47L |
| 充裝量 Fill Weight (kgs) | 100 bar |
| 閥門 Valve Connection | CGA350/DISS632 |
| 尺寸 Cylinder Dimensions(cm) | 23x140 |
| 產(chǎn)品用途：用于半導體、太陽能電池等領域 | |
