六氟異丁烯/HFIB
作為一種低GWP值的綠色環(huán)保新型干法刻蝕氣體，可應(yīng)用于半導(dǎo)體的前段刻蝕。
產(chǎn)品信息概括
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項(xiàng)目 |
說(shuō)明 |
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化學(xué)名稱 |
六氟異丁烯；2-三氟甲基-3,3,3-三氟丙烯；HFIB |
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CAS號(hào) |
382-10-5 |
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分子式 |
C4H2F6 |
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分子量 |
164.05 |
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沸點(diǎn)（101.325kPa，℃） |
14.5 |
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溶解度（23℃, g/L） |
0.23 |
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密度(101.325kPa，g/cm3) |
1.39 |
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包裝規(guī)格：4.64L/10.2L/44L鋼瓶
