電子混合氣體
湖南遠創(chuàng)氣體有限公司近幾年來持續(xù)加大電子氣體投入，于2018年成為“集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟”成員。憑借豐富的配氣經(jīng)驗，先進的分析能力（CNAS認(rèn)證實驗室）和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓芾眢w系，不斷開發(fā)滿足客戶需求的氣體產(chǎn)品，形成了以混合氣為主，特殊化學(xué)氣體及高純氣為輔的產(chǎn)品線，相關(guān)產(chǎn)品 已經(jīng)應(yīng)用于LED、IC、光伏等行業(yè)。
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氣體組分 |
含量 |
閥門 |
充裝壓力 |
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PH3/H2 |
ppm級 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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PH3/N2 |
ppm級 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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PH3/He |
ppm級 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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SiH4/H2 |
ppm級 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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SiH4/N2 |
ppm級 %含量 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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B2H6/H2 |
ppm級 |
DISS632/CGA350 |
10MPa |
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30%O2/He |
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DISS714 |
12MPa |
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20%O2/Ar |
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DISS714 |
10MPa |
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3%H2/Ar |
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DISS724 |
10MPa |
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15%O2/Ar |
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DISS714 |
10MPa |
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0.5%O2/He |
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DISS714 |
12MPa |
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1.2%He/N2 |
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DISS714 |
12MPa |
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F2/Kr/Ne |
%含量 |
CGA679/DISS728 |
13.8MPa |
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F2/Ar/Ne |
%含量 |
CGA679/DISS728 |
13.8MPa |
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Kr/Ne |
%含量 |
CGA580/DISS718 |
13.8MPa |
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Ar/Xe/Ne |
%含量 |
CGA580/DISS718 |
13.8MPa |
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4%H2/N2 |
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DISS718 |
12MPa |
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2.7%C2H4/He |
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JISS22-14OR |
12MPa |
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99.9% NO |
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JISS22-14-OR |
3.5MPa |
