根據(jù)制備方法和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，工業(yè)氣體可分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體主要包括氧氣、氮?dú)?、氬氣等空氣分離氣體和乙炔、二氧化碳等合成氣體。特種氣體種類繁多，主要包括電子特種氣體、高純氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體。

特種氣體是電子氣體的一個(gè)重要分支，是集成電路、顯示面板等電子行業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原料。特種氣體種類繁多，廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜等領(lǐng)域。它們被稱為集成電路、液晶面板、led和光伏等材料的“食物”和“來(lái)源”，決定著器件的最終成品率和可靠性。電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及相關(guān)太陽(yáng)能電池等高科技行業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化和清洗，或用作載氣、保護(hù)氣氛等。隨著半導(dǎo)體和微電子技術(shù)向高性能、高集成度發(fā)展，對(duì)電子特氣的純度提出了越來(lái)越高的要求，電子特氣的凈化變得越來(lái)越關(guān)鍵和重要。

電子特氣的上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)、鹵族元素(氟、氯)的基礎(chǔ)化工產(chǎn)業(yè)，下游在集成電路、面板、led等領(lǐng)域的各個(gè)工藝環(huán)節(jié)有著多種用途。電子特種氣體是生產(chǎn)集成電路、顯示面板等電子行業(yè)不可缺少的原材料。2021年，電子特種氣體在集成電路中的應(yīng)用占43%，其次是顯示面板，占21%，LED和光伏，分別占13%和6%。主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括離子注入、刻蝕、氣相沉積和摻雜。

集成電路是電子特氣主要下游應(yīng)用，21年占比達(dá)43%。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是中國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)的基礎(chǔ)性和戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)。在政策加持下，打造“中國(guó)芯”、實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代的緊迫性和重要性不斷加強(qiáng)。2011年，中國(guó)大陸的晶圓產(chǎn)能僅占全球的9%，2021年已經(jīng)達(dá)到16%。預(yù)計(jì)2024年將達(dá)到19%，產(chǎn)業(yè)鏈逐漸向中國(guó)轉(zhuǎn)移。據(jù)統(tǒng)計(jì)，2021-2022年，全球新增晶圓廠29家，其中中國(guó)大陸8家，占比27.59%。

從電子特種氣體產(chǎn)業(yè)鏈來(lái)看，氣體原料和化工原料是電子特種氣體的主要生產(chǎn)原料；氣體是電子特種氣體的重要生產(chǎn)設(shè)備。此外，由于氣體產(chǎn)品多為危險(xiǎn)化學(xué)品，運(yùn)輸環(huán)節(jié)對(duì)鋼瓶的需求也必不可少。