五氟化磷特種氣體應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)
- 發(fā)布時(shí)間：2024-04-10
- 發(fā)布者： 本站
- 來源： 原創(chuàng)
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中文名五氟化磷
外文名phosphorus pentafluoride
化學(xué)式PF5
分子量125.966
CAS登錄號(hào)7647-19-0
EINECS登錄號(hào)231-602-3
熔 點(diǎn)-93.8 ℃ [2]
沸 點(diǎn)-84.6 ℃ [2]
密 度5.805 kg/m3
外 觀無色氣體
閃 點(diǎn)-84.6 ℃ [3]
安全性描述S3/7/9；S38；S45
危險(xiǎn)性符號(hào)C；T
危險(xiǎn)性描述R23
外文名phosphorus pentafluoride
化學(xué)式PF5
分子量125.966
CAS登錄號(hào)7647-19-0
EINECS登錄號(hào)231-602-3
熔 點(diǎn)-93.8 ℃ [2]
沸 點(diǎn)-84.6 ℃ [2]
密 度5.805 kg/m3
外 觀無色氣體
閃 點(diǎn)-84.6 ℃ [3]
安全性描述S3/7/9；S38；S45
危險(xiǎn)性符號(hào)C；T
危險(xiǎn)性描述R23
